《材料表面與薄膜技術》作為高等學校材料類專業(yè)教學指導委員會規(guī)劃教材,是一本體現(xiàn)多學科交叉并具有較強實用價值的專業(yè)教材。全書從基本原理出發(fā),密切結合實際,介紹了各類常見的表面與薄膜制備技術及其發(fā)展趨勢,詳細介紹了表面與薄膜相關的基本概念、內在原理,較系統(tǒng)地分析了各類現(xiàn)代表面技術的特點、適用范圍、技術路線、工藝流程和應用實例以及發(fā)展前景。主要內容包括表面技術概論、表面科學的概念和理論、薄膜氣相沉積技術、表面改性技術、表面涂覆技術以及表面分析與表征技術。本書可作為高等學校材料類、化工類相關專業(yè)本科生和研究生的教學用書,同時可供表面工程、涂裝、機械、國防、航空航天、船舶等領域的工程技術人員參考。