RF MEMS器件與技術(shù)

 
 
 
目    錄
 
 
 
 
第 1 章    緒    論      (001)
1 . 1    MEMS 基本特點(diǎn)    (001)
1 . 2    MEMS 在各學(xué)科領(lǐng)域的應(yīng)用研究    (003)
1 . 3    MEMS 研究?jī)?nèi)容    (005)
1 . 4    MEMS 發(fā)展簡(jiǎn)史    (006)
1 . 5    工藝的發(fā)展   (007)
第 2 章   微機(jī)電系統(tǒng)力學(xué)基礎(chǔ)     (009) 1MEMS 尺寸效應(yīng)    (009) 2    微機(jī)械的彈性梁力學(xué)問(wèn)題 (011) 3流體力學(xué)   (012) 4黏附力   (013) 5靜電力    (015) 參考文獻(xiàn)     (016)
第 3 章   MEMS 工藝    (017)
3 . 1     光刻    (017)
3 . 2    淀積    (018)
3 . 3    腐蝕    (019)
3 . 4    鍵合    (020)
3 . 5    MEMS 工藝的發(fā)展趨勢(shì)    (026)
第 4 章   RF MEMS 器件設(shè)計(jì)微波基礎(chǔ)     (028)
4 . 1    微帶傳輸線   (028)
4 . 2    慢波共面波導(dǎo)傳輸線   (029)
4 . 3    兩端口微波網(wǎng)絡(luò)    (032)
4 . 4    微波濾波網(wǎng)絡(luò)    (035)
4 . 5    微尺度下微機(jī)械天線的電磁輻射和耦合理論   (036)
4 . 6    分形結(jié)構(gòu)原理    (040)
 
 
4 . 7    分形天線的形式結(jié)構(gòu)    (041)
4 . 8    分形自相似濾波原理   (044)
4 . 9    小結(jié)    (045)
參考文獻(xiàn)     (046)
第 5 章   RF MEMS 可重構(gòu)天線     (050)
5 . 1     概述    (050)
5 . 2    典型的微波硅基 MEMS 可重構(gòu)天線設(shè)計(jì)    (052)
5 . 3    硅基可重構(gòu)天線設(shè)計(jì)   (057)
5 . 4    掩膜版的制作    (059)
5 . 5    天線的測(cè)試結(jié)果    (060)
5 . 6    典型的硅基 MEMS 可重構(gòu)分形天線設(shè)計(jì)    (062)
5 . 7    Koch , Single-Arm  Spiral , Double-Ring 分形天線的設(shè)計(jì)      (067)
5 . 8    小結(jié)    (073)
參考文獻(xiàn)     (074)
第 6 章   RF MEMS 可重構(gòu)濾波器     (076)
6 . 1     概述    (076)
6 . 2    分布參數(shù)法設(shè)計(jì)微波濾波器   (079)
6 . 3    傳輸線理論基礎(chǔ)    (080)
6 . 4    帶通濾波器的設(shè)計(jì)方法   (083)
6 . 5    典型的 RF MEMS 可調(diào)濾波器     (088)
6 . 6    典型的電磁帶隙技術(shù)濾波器   (097)
6 . 7    基于 MEMS 技術(shù)的 EGS 結(jié)構(gòu)用于可重構(gòu)低通濾波器的設(shè)計(jì)舉例      (103)
6 . 8    MEMS 濾波器的未來(lái)發(fā)展    (109)
參考文獻(xiàn)     (110)
第 7 章   RF MEMS 可重構(gòu)匹配網(wǎng)絡(luò)     (114)
7 . 1     概述    (114)
7 . 2    RF MEMS 可重構(gòu)匹配網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)方法      (116)
7 . 3    RF MEMS 可重構(gòu)匹配網(wǎng)絡(luò)上的電流      (119)
7 . 4    RF MEMS 可重構(gòu)匹配網(wǎng)絡(luò)舉例      (119)
參考文獻(xiàn)     (123)
第 8 章   RF MEMS 諧振器     (127)
8 . 1     概述    (127)
8 . 2    RF MEMS 諧振器基本知識(shí)      (128)
 
 
8 . 3    RF MEMS 諧振器工藝      (130)
8 . 4    RF MEMS 諧振器研究      (131)
8 . 5    結(jié)論    (137)
參考文獻(xiàn)     (139)
第 9 章   MEMS 模擬與仿真    (142)
9 . 1    有限元分析介紹   (142)
9 . 2    有限元法分析計(jì)算的思路和做法   (143)
9 . 3    COMSOL Multiphysics 軟件       (144)
9 . 4    COMSOL 二次開發(fā)工具    (148)
9 . 5    其他微機(jī)電模擬仿真軟件   (149)
9 . 6    微機(jī)電模塊    (156)
第 10 章   微機(jī)電系統(tǒng)材料   (157) 1硅     (157) 2砷化鎵      (163) 3MEMS 中的陶瓷材料      (163) 4    形狀記憶合金材料    (164) 5    MEMS  中的磁致伸縮材料   (167) 6MEMS 中的流變體      (167) 第 11 章   MEMS 的發(fā)展趨勢(shì)      (170)
11 . 1    可調(diào)諧的網(wǎng)絡(luò)及其濾波器     (170)
11 . 2    開關(guān)     (171)
11 . 3    變?nèi)萜骱碗姼衅?     (171)
11 . 4    電路和移相器      (171)
11 . 5    小結(jié)     (172)
11 . 6    后續(xù)     (172)
參考文獻(xiàn)     (175)