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內(nèi)容簡介

　　本書第一部分第1-4章描述了用于測量角度和位移的光學傳感器，它們是精確納米測量的基本量。提出了用于改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術(shù)以及開發(fā)了新的多軸感測方法。第二部分第5-10章介紹了許多用于表面形狀和臺階運動的精確納米測量的掃描型測量系統(tǒng)。在納米制造中，最基本的幾何形狀——直線度和圓度測量的誤差分離算法和系統(tǒng)，在第五章和第六章中進行了介紹。在第七章中，描述了微觀非球面的測量，這需要掃描機理和探測技術(shù)的發(fā)展。在第8章和第9章中，描述了基于掃描探針顯微鏡的新型系統(tǒng)，用于針對新的、重要的納米制造的微小挑戰(zhàn)和納米結(jié)構(gòu)的精確納米測量。第10章介紹掃描式圖像傳感器系統(tǒng)，它可以對長結(jié)構(gòu)的微小尺寸進行快速，準確的測量。

作者簡介

　　李雷，男，2014年畢業(yè)后進入中國電子技術(shù)標準化研究院工作，歷任計量與檢測中心助理工程師、工程師，現(xiàn)任計量與檢測中心制造與長熱力組組長。主要從事微電子領(lǐng)域發(fā)展規(guī)劃編寫、前沿技術(shù)研究、軍工計量科研攻關(guān)、設(shè)備檢定與校準工作。

圖書目錄

1測量表面坡度和傾斜運動的角度傳感器

1.1簡介；1.2帶有象限光電二極管的角度傳感器；1.3帶有光電二極管陣列的角度傳感器；1.4帶有單元光電二極管的角度傳感器；1.5小結(jié)；1.6參考

2用于測量多軸傾斜運動的激光自準直儀

2.1引言；2.2雙軸激光自準直儀；2.3單鏡頭激光微自準直儀；2.4三軸激光自準直儀；2.5總結(jié)

3用于測量面內(nèi)運動的表面編碼器

3.1引言；3.2用于MDOF面內(nèi)運動的表面編碼器；3.3兩軸正弦網(wǎng)格表面編碼器的制造；3.4表面編碼器在表面電機驅(qū)動平面階段的應(yīng)用；3.5總結(jié)；3.6參考文獻

4用于測量平面內(nèi)和平面外運動的光柵編器

4.1介紹；4.2二自由度線性光柵編碼器；4.3帶正弦網(wǎng)格的三軸光柵編碼器；4.4矩形XY網(wǎng)格的三軸光柵編碼器；4.5總結(jié)；4.6參考文獻

5測量圓度的掃描多探針系統(tǒng)

5.1介紹；5.2坡度傳感器方法；5.3混合方法；5.4總結(jié)；5.5參考文獻

6測量直線度的掃描誤差分離系統(tǒng)

6.1簡介；6.2具有自調(diào)零的三位移傳感器方法；6.3機床滑塊的誤差分離方法；6.4總結(jié)；6.5參考

7微型非球面的測量的掃描微型手寫筆系統(tǒng)

7.1簡介；7.2掃描錯誤動作補償；7.3微型探針；7.4微型非球面的小型測量儀器；7.5總結(jié)；7.6參考文獻

8用于微紋理表面的大面積掃描探針顯微鏡

8.1簡介；8.2電容式傳感器補償掃描探針顯微鏡；8.3線性編碼器補償掃描探針顯微鏡；8.4螺旋掃描探針顯微鏡；8.5總結(jié)；8.6參考

9測量三維納米結(jié)構(gòu)的自動對準掃描探針顯微鏡系統(tǒng)

9.1簡介；9.2自動對準光學探針；9.3自動對準AFM的儀器；9.4小結(jié)；9.5參考

10用于測量微小尺寸的掃描圖像傳感器系統(tǒng)

10.1介紹；10.2微寬度測量的掃描區(qū)域圖像傳感器；10.3微小半徑測量的掃描線圖像傳感器；10.4總結(jié)；10.5參考