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內(nèi)容簡介

　　本書利用射頻磁控濺射技術(shù)將Ag元素、Ge元素、Al元素和Y元素加入至a-IZO中，研究了四種元素是否可以在不降低透明度的情況下提高a-IZO的導(dǎo)電性并形成新型a-TCO；同時(shí)，根據(jù)四種元素對a-IZO性能的影響，對Hosono等提出的工作假定進(jìn)行了系統(tǒng)性評估。本書分為八章。第一章對本書內(nèi)容進(jìn)行了簡要介紹。第二章對a-IZO相關(guān)材料的背景和發(fā)展進(jìn)行了文獻(xiàn)綜述，對研究新型a-IZO相關(guān)材料的工作假定進(jìn)行了詳細(xì)分析。第三章概括了相關(guān)實(shí)驗(yàn)方法和技術(shù)細(xì)節(jié)。第四章和第五章系統(tǒng)研究了工作假定范疇內(nèi)的Ag元素和Ge元素加入a-IZO中對光電性能的影響并對工作假定進(jìn)行了評估。第六章和第七章系統(tǒng)研究了工作假定范疇外的Al元素和Y元素加入a-IZO對光電性能的影響并對工作假定進(jìn)行了評估。第八章總結(jié)了本書的主要研究成果。

作者簡介

暫缺《外來元素融合銦鋅氧化物透明導(dǎo)體\半導(dǎo)體研究》作者簡介

圖書目錄

第一章緒論
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 研究內(nèi)容
第二章文獻(xiàn)綜述
第一節(jié) 透明導(dǎo)電氧化物概述
第二節(jié) 探索非晶透明導(dǎo)電氧化物的工作假定
第三節(jié) 氧化銦鋅（IZO）材料概述
第三章實(shí)驗(yàn)方法
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 制備方法
第三節(jié) 檢測方法
第四章 Ag元素參與和Ag夾層對a-IZO的影響
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 金屬Ag和Ag2O參與對a-IZO的影響
第三節(jié) 金屬Ag嵌入對a-IZO的影響
第四節(jié) 本章小節(jié)
第五章 Ge元素參與對a-IZO的影響
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 金屬Ge參與對a-IZ0的影響
第三節(jié) GeO2參與對a-IZO的影響
第四節(jié) 本章小節(jié)
第六章 Al元素參與對a-IZO的影響
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 金屬Al參與對a-IZ0的影響
第三節(jié) Al2O3參與對a-IZO的影響
第四節(jié) 本章小節(jié)
第七章 Y元素參與對a-IZO的影響
第一節(jié) 概述
第二節(jié) Y2O3參與對a-IZO的影響
第三節(jié) 本章小節(jié)
第八章結(jié)論與展望
第一節(jié) 結(jié)論
第二節(jié) 展望
主要參考文獻(xiàn)