集成電路材料基因組技術(shù)

第1章 集成電路概述與發(fā)展趨勢\t
1．1 集成電路材料概述\t
1．2 集成電路技術(shù)發(fā)展與材料應(yīng)用趨勢\t
參考文獻\t
第2章 材料基因組技術(shù)發(fā)展和研究進展\t
2．1 材料基因組技術(shù)簡介\t
2．2 材料基因組技術(shù)發(fā)展歷程\t
2．3 材料基因組技術(shù)研究進展及機器學(xué)習(xí)在其中的應(yīng)用
2．3．1 材料高通量實驗技術(shù)研究進展\t
2．3．2 材料高通量計算技術(shù)研究進展\t
2．3．3 材料數(shù)據(jù)庫技術(shù)研究進展\t
2．3．4 機器學(xué)習(xí)在材料基因組技術(shù)中的應(yīng)用\t
參考文獻\t
第3章 材料基因組技術(shù)在集成電路材料研發(fā)中的應(yīng)用進展及前景
3．1 功能材料的研發(fā)進展及材料基因組技術(shù)的應(yīng)用情況
3．1．1 新型存儲材料\t
3．1．2 射頻壓電材料\t
3．1．3 高k介質(zhì)材料\t
3．1．4 鐵電、鐵磁和多鐵材料\t
3．2 工藝材料的發(fā)展趨勢及材料基因組技術(shù)的應(yīng)用前景
3．2．1 光刻材料\t
3．2．2 拋光材料\t
3．2．3 濕化學(xué)品\t
3．2．4 濺射靶材\t
3．2．5 MO源\t
參考文獻\t
第4章 總結(jié)和展望