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內(nèi)容簡介

　　近年來，伴隨著材料表面處理等離子體工藝的發(fā)展，塵埃顆粒因其對等離子體性質(zhì)及材料表面性質(zhì)有著重要的影響，得到了廣泛的關(guān)注，《低溫塵埃等離子體》就是在此背景下著成的?！兜蜏貕m埃等離子體》分為三大部分：第一部分是塵埃等離子體的基礎(chǔ)知識，包括第1章和第2章；第二部分是硅烷放電中塵埃顆粒形成機制的研究，包括第3章、第4章和第5章；第三部分是乙炔放電中塵埃顆粒形成機制的研究，包括第6章和第7章。《低溫塵埃等離子體》可為等離子體物理相關(guān)領(lǐng)域研究者提供借鑒和參考。

作者簡介

暫缺《低溫塵埃等離子體》作者簡介

圖書目錄

第1章塵埃等離子體概述
1．1 塵埃等離子體簡介
1．2 低溫塵埃等離子體應用
1．3 低溫塵埃等離子體的研究方法及現(xiàn)狀
1．4 本章小結(jié)
第2章低溫塵埃等離子體物理基礎(chǔ)
2．1 塵埃顆粒的形成和生長
2．2 塵埃顆粒的充電
2．3 塵埃顆粒的受力
2．4 本章小結(jié)
第3章硅薄膜中塵埃顆粒成核階段
3．1 概述
3．2 模型描述
3．3 模擬結(jié)果與討論
3．4 本章小結(jié)
第4章硅薄膜中塵埃顆粒凝聚階段
4．1 概述
4．2 凝聚過程模擬
4．3 結(jié)果與討論
4．4 本章小結(jié)
第5章甚高頻放電中塵埃顆粒生長階段的二維模擬
5．1 概述
5．2 二維模型描述
5．3 模擬結(jié)果與討論
5．4 本章小結(jié)
第6章碳薄膜中塵埃顆粒形成機制研究
6．1 概述
6．2 模型描述
6．3 模擬結(jié)果與討論
6．4 本章小結(jié)
第7章脈沖調(diào)制射頻放電中塵埃顆粒生長機制研究．
7．1 概述
7．2 模型描述
7．3 結(jié)果與討論
7．4 本章小結(jié)
第8章結(jié)論
參考文獻