位置敏感探測器的定位及結(jié)構(gòu)改進(jìn)研究

第1章 位置敏感探測器概述
1．1 位置敏感探測器的概述
1．2 PSD的研究歷史
1．3 PSD的應(yīng)用實(shí)例
1．4 PSD的多自由度檢測
第2章 位置敏感探測器理論基礎(chǔ)
2．1 半導(dǎo)體基礎(chǔ)
2．2 半導(dǎo)體PN結(jié)的光電轉(zhuǎn)換
2．3 PSD的等效分析
2．4 二維PSD的RC傳輸線模型
2．5 PSD特性參數(shù)及其影響因素
第3章 幅值法定位檢測
3．1 光電流的理論解
3．2 PSD的幅值定位原理
3．3 基于單片PSD的多光束同步檢測技術(shù)
3．4 一維PSD的幅值法定位
3．5 二維PSD幅值法定位
3．6 幅值法的實(shí)驗(yàn)測試
第4章 PSD的相位法多光束檢測
4．1 PSD相位法位置檢測的原理
4．2 相位法多光束檢測
4．3 PSD相位法實(shí)驗(yàn)測試
第5章 增強(qiáng)橫向光電效應(yīng)的機(jī)理研究
5．1 檢測環(huán)境對(duì)光電流的影響
5．2 增強(qiáng)橫向光電效應(yīng)的研究
5．3 諧振腔基本原理
5．4 橫向光電效應(yīng)增強(qiáng)的機(jī)理研究
5．5 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
5．6 小結(jié)
第6章 諧振腔增強(qiáng)型PSD的數(shù)值驗(yàn)證研究
6．1 諧振腔增強(qiáng)型結(jié)構(gòu)的量子效率研究
6．2 增強(qiáng)型結(jié)構(gòu)橫向光電效應(yīng)的數(shù)值研究
參考文獻(xiàn)