半導體材料標準匯編：基礎、產(chǎn)品和管理標準分冊（2014版）

一、基礎標準
GB/T 8756-1988 鍺晶體缺陷圖譜
GB/T 13389-1992 摻硼摻磷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規(guī)程
GB/T 14264-2009 半導體材料術語
GB/T 14844-1993 半導體材料牌號表示方法
GB/T 16595-1996 晶片通用網(wǎng)格規(guī)范
GB/T 16596-1996 確定晶片坐標系規(guī)范
GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷圖譜
YS/T 28-1992 硅片包裝

二、產(chǎn)品標準
GB/T 5238-2009 鍺單晶和鍺單晶片
GB/T 10117-2009 高純銻
GB/T 10118-2009 高純鎵
GB/T 11069-2006 高純二氧化鍺
GB/T 11070-2006 還原鍺錠
GB/T 11071-2006 區(qū)熔鍺錠
GB/T 11072-2009 銻化銦多晶、單晶及切割片
GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化鎵單晶及切割片
GB/T 11094-2007 水平法砷化鎵單晶及切割片
GB/T 12962-2005 硅單晶
GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12964-2003 硅單晶拋光片
GB/T 12965-2005 硅單晶切割片和研磨片
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 20228-2006 砷化鎵單晶
GB/T 20229-2006 磷化鎵單晶
GB/T 20230-2006 磷化銦單晶
GB/T 25074-2010 太陽能級多晶硅
GB/T 25075-2010 太陽能電池用砷化鎵單晶
GB/T 25076-2010 太陽電池用硅單晶
GB/T 26065-2010 硅單晶拋光試驗片規(guī)范
GB/T 26069-2010 硅退火片規(guī)范
GB/T 26071-2010 太陽能電池用硅單晶切割片
GB/T 26072-2010 太陽能電池用鍺單晶
GB/T 29054-2012 太陽能級鑄造多晶硅塊
GB/T 29055-2012 太陽電池用多晶硅片
GB/T 29504-2013 300mm硅單晶
GB/T 29506-2013 300mm硅單晶拋光片
GB/T 29508-2013 300mm硅單晶切割片和磨削片
GB/T 30854-2014 LED發(fā)光用氮化鎵基外延片
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化鎵襯底
GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化鎵襯底
GB/T 30858-2014 藍寶石單晶襯底拋光片
GB/T 30861-2014 太陽能電池用鍺襯底片
YS/T 13-2007 高純四氯化鍺
YS/T 43-2011 高純砷
YS 68-2004 砷
YS/T 99-1997 三氧化二砷
YS/T 222-2010 碲錠
YS/T 223-2007 硒
YS/T 257-2009 銦錠
YS/T 264-2012 高純銦
YS/T 265-2012 高純鉛
YS/T 300-2008 鍺精礦
YS/T 651-2007 二氧化硒
YS/T 724-2009 硅粉
YS/T 792-2012 單晶爐用碳／碳復合材料坩堝
YS/T 816-2012 高純硒
YS/T 817-2012 高純碲
YS/T 838-2012 碲化鎘
YS/T 916-2013 高純鎘

三、管理標準
GB/T 23522-2009 再生鍺原料
GB/T 23523-2009 再生鍺原料中鍺的測定方法
GB 29413-2012 鍺單位產(chǎn)品能源消耗限額
GB 29447-2012 多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額
YS 783-2012 紅外鍺單晶單位產(chǎn)品能源消耗限額
YS/T 840-2012 再生硅料分類和技術條件
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