無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺及其應(yīng)用

第一篇 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺
第1章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的數(shù)學(xué)模型
1.1 飛行中飛行器的特征
1.2 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺敏感元件的運(yùn)動方程式
1.3 飛行器以常值角速度旋轉(zhuǎn)時(shí)陀螺的性能
1.4 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺系統(tǒng)方案的選擇
1.5 已知等級儀器的調(diào)節(jié)質(zhì)量
1.6 帶有速度負(fù)反饋的無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的穩(wěn)定性
1.7 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的技術(shù)性能
第2章 帶速度負(fù)反饋的無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的精度
2.1 繞橫軸轉(zhuǎn)動的常值角速度測量精度
2.2 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的調(diào)節(jié)質(zhì)量
第3章 在交變角速度條件下無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的性能
3.1 在角振動條件下無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的性能
3.2 在角振動條件下無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的輸出信號
3.3 飛行器的諧波角速度測量精度
3.4 在圓周振動時(shí)無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的性能
第4章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的工具性和運(yùn)行性誤差
4.1 框架靜不平衡引起的誤差
4.2 角振動和圓周振動引起的誤差
4.3 安裝不精確產(chǎn)生的誤差
4.4 環(huán)境溫度變化產(chǎn)生的誤差
第5章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺實(shí)驗(yàn)研究
5.1 帶速度負(fù)反饋的無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺技術(shù)說明
5.2 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)機(jī)械陀螺的參數(shù)和反饋參數(shù)計(jì)算
5.3 高精度三軸轉(zhuǎn)臺
5.4 帶溫箱的雙軸轉(zhuǎn)臺
5.5 頻率特性拾取的特殊性
5.6 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
5.6.1 工作能力的測量法和測量結(jié)果
5.6.2 零偏信號的測量方法和結(jié)果
5.6.3 閾值的測量方法和結(jié)果
5.6.4 輸出特性的測量方法和結(jié)果
5.6.5 輸出信號穩(wěn)定性的測量方法和結(jié)果
5.6.6 頻率特性采集的方法和結(jié)果
5.6.7 安裝不精確影響測量方法和結(jié)果
5.6.8 帶自身旋轉(zhuǎn)倍頻的角振動輸出信號影響的測量方法和結(jié)果
第二篇 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺
第6章 微機(jī)械加速度計(jì)和微機(jī)械陀螺
6.1 微機(jī)械加速度計(jì)
6.1.1 微機(jī)械加速度計(jì)的基本原理、工藝類型和應(yīng)用
6.1.2 微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理
6.1.3 用體微細(xì)加工工藝制造的微機(jī)械加速度計(jì)
6.1.4 用表面微細(xì)加工工藝制造的微機(jī)械加速度計(jì)
6.1.5 力反饋
……
第7章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺的工作原理
第8章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺的誤差
第9章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺相移
第10章 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺的靜態(tài)性能實(shí)驗(yàn)
第三篇 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺的微機(jī)械加工技術(shù)
第11章 電子材料及其加工處理
第12章 MEMs用材料及其制備
第13章 標(biāo)準(zhǔn)微電
第14章 體微機(jī)械加工
第15章 表面微機(jī)械加工
第16章 MEMS的微立體平版光刻技術(shù)
第四篇 無驅(qū)動結(jié)構(gòu)微機(jī)械陀螺的應(yīng)用
第17章 信號處理
第18章 飛行姿態(tài)控制系
參考文獻(xiàn)