薄膜光學與薄膜技術基礎

第1章 薄膜光學的電磁理論基礎
1.1 麥克斯韋方程
1.2 平面電磁波
1.2.1 復矢量波動方程——齊次矢量亥姆霍茲方程
1.2.2 理想介質(zhì)中的平面波解
1.2.3 吸收介質(zhì)中的平面波解
1.3 平均電磁能流密度——光強
1.4 電磁波譜、光譜
習題
參考文獻
第2章 平面光波在兩介質(zhì)分界平面上的反射與透射
2.1 各向同性理想介質(zhì)界面的反射與透射
2.1.1 S波反射與透射
2.1.2 P波反射與透射
2.2 各向同性吸收介質(zhì)界面的反射與透射
2.2.1 S波反射與透射
2.2.2 P波反射與透射
2.3 非均勻介質(zhì)界面的反射與透射
2.3.1 幾何光學近似條件下非均勻介質(zhì)中的波傳播
2.3.2 任意非均勻介質(zhì)界面的反射系數(shù)方程
2.4 各向異性介質(zhì)界面的反射與透射
2.4.1 平面對稱各向異性介質(zhì)中麥克斯韋方程的分量形式
2.5 反射系數(shù)和透射系數(shù)隨入射角的變化
2.5.1 全反射與倏逝波
2.5.2 全透射
2.5.3 反射系數(shù)、透射系數(shù)振幅和相位隨入射角變化
2.6 反射率和透射率
2.6.1 理想介質(zhì)分畀面的反射率和透射率
2.6.2 吸收介質(zhì)分界面的反射率和透射率
2.6.3 空氣與金屬導體表面的反射率
習題
參考文獻
第3章 平面光波在平界面層狀介質(zhì)薄膜中的反射與透射
3.1 法向阻抗和光學有效導納的概念
3.2 平面分界面單層均勻介質(zhì)薄膜的反射與透射
3.3 平面分界面多層均勻介質(zhì)薄膜的反射與透射
3.3.1 平面分界面多層均勻介質(zhì)薄膜反射系數(shù)和透射系數(shù)計算的矩陣方法
3.3.2 多層增透膜和高反射膜的基本構(gòu)成特點
3.4 非均勻介質(zhì)膜層的特征矩陣
3.4.1 一階近似
3.4.2 二階近似
3.5 各向異性介質(zhì)薄膜的分層矩陣計算方法
3.5.1 各向異性介質(zhì)中的矩陣波動方程
3.5.2 各向異性介質(zhì)薄膜的矩陣波動方程
3.5.3 均勻各向異性介質(zhì)薄膜矩陣波動方程的解
3.5.4 單軸各向異性介質(zhì)薄膜的特征矩陣
3.5.5 非均勻各向異性介質(zhì)薄膜矩陣波動方程的數(shù)值解
3.5.6 單層各向異性介質(zhì)薄膜的反射與透射
習題
參考文獻
第4章 膜系設計圖示法
4.1 矢量法
4.2 導納圖解法
4.2.1 單一等效界面等反射率導納圓圖和等相位導納圓圖
4.2.2 單層膜系等折射率導納圓圖和等相位導納圓圖
4.2.3 多層膜系等折射率導納圓圖
4.3 金屬膜導納圓圖
4.4 膜系層間電場分布
習題
參考文獻
第二篇 光學薄膜分類及應用
第5章 增透膜
5.1 表面反射對光學系統(tǒng)性能的影響
5.2 基底介質(zhì)非相干疊加的透射率
5.3 透射濾光片組合透射率
5.4 均勻介質(zhì)增透膜
5.4.1 單層均勻介質(zhì)增透膜
5.4.2 多層均勻介質(zhì)增透膜
5.5 非均勻介質(zhì)增透膜
5.6 入射角變化對透射率的影響
5.7 增透膜應用實例——液晶顯示增透膜
習題
參考文獻
第6章 高反射膜
6.1 反射鏡組合的反射率
6.2 周期多層膜系的反射率
6.2.1 周期多層膜系的特征矩陣
6.2.2 周期多層膜系的反射率和透射率
6.3 [HL]m類型的周期多層膜
6.4 |（0.5 L）H（0.5 L）|m類型的對稱周期多層膜
6.5 周期多層膜構(gòu)成的寬帶高反射膜
6.6 中遠紅外區(qū)域的多層高反射膜
6.7 軟X射線區(qū)域的多層高反射膜
6.8 金屬反射鏡
6.8.1 常用金屬反射鏡
6.8.2 金屬-介質(zhì)反射鏡
6.9 影響反射特性的因素
6.10 高反射鏡應用實例
6.10.1 激光高反射鏡
6.10.2 光刻機系統(tǒng)193nm高反射膜
6.10.3 DLP/LCoS投影薄膜——寬角度高反射鏡
習題
參考文獻
第7章 帶通濾光片
7.1 帶通濾光片的特性描述
7.2 帶通濾光片的基本構(gòu)型——法布里-珀羅干涉儀及其變形
7.3 法布里-珀羅干涉儀透射率計算
7.3.1 單層薄膜反射與透射計算的有效界面法
7.3.2 膜系透射定理
7.3.3 法布里-珀羅干涉儀的透射率計算
7.3.4 法布里-珀羅干涉儀透射特性分析
7.3.5 特殊帶通濾光片信噪比的計算
7.4 窄帶和中等帶寬濾光片
7.4.1 法布里-珀羅干涉濾光片
……
第三篇 薄膜技術基礎