實用真空檢漏技術

第1章 檢漏的一般概念
1.1 檢漏技術的地位和應用
1.2 檢漏技術的主要術語
1.3 壓力與漏率關系
1.3.1 動態(tài)真空
1.3.2 靜態(tài)真空
1.4 檢漏的任務
1.4.1 真空抽不好的原因
1.4.2 不能保持壓力的原因
1.4.3 檢漏的任務
1.5 漏孔及其表示
1.5.1 焊縫及原材料的缺欠
1.5.2 常見漏孔的形式
1.5.3 漏孔出現(xiàn)位置及產(chǎn)生原因
1.5.4 漏孔大小的表示方法
1.5.5 影響漏孔漏率的因素
1.5.6 漏率的單位
1.5.7 漏孔對真空的影響
1.6 裝置漏氣的判定
1.6.1 真空裝置漏氣的判定
1.6.2 加壓裝置漏氣的判定
1.6.3 檢漏儀及其他方法
1.7 裝置容許最大漏率估算
1.7.1 動態(tài)真空裝置容許最大漏率
1.7.2 靜態(tài)真空裝置容許最大漏率
1.7.3 加壓裝置容許最大漏率
1.7.4 實際存在漏孔漏率分布
1.8 靈敏度與最小可檢漏率
1.8.1 靈敏度
1.8.2 最小可檢漏率
1.8.3 有效最小可檢漏率
1.9 對檢漏的一般要求
1.10 檢漏方法的分類
1.10.1 加壓檢漏法
1.10.2 抽真空檢漏法
1.10.3 其他方法
1.11 檢漏方法、儀器和示漏物質選擇原則
1.12 國產(chǎn)氦質譜檢漏儀現(xiàn)狀
第2章 檢漏的真空基礎
2.1 真空概念和測量單位
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空度
2.1.3 真空區(qū)域劃分
2.2 理想氣體基本定律及狀態(tài)方程
2.2.1 理想氣體
2.2.2 波義耳定律
2.2.3 蓋•呂薩克定律
2.2.4 查理定律
2.2.5 阿伏伽德羅定律
2.2.6 理想氣體狀態(tài)方程
2.2.7 道爾頓定律（分壓力定律）
2.3 氣體分子的平均自由程
2.3.1 平均自由程
2.3.2 單一氣體分子的平均自由程
2.4 氣體流量和管道流導
2.4.1 氣體量
2.4.2 流量
2.4.3 流導
2.4.4 管道串聯(lián)的流導
2.4.5 管道并聯(lián)的流導
2.5 氣體的流動狀態(tài)
2.5.1 真空管道中的氣體流動
2.5.2 漏孔中的氣體流動
2.6 真空泵
2.6.1 油封式旋轉機械真空泵
2.6.2 油擴散泵
2.6.3 渦輪分子泵
2.7 真空計
2.7.1 靜態(tài)變形真空計
2.7.2 電阻真空計
2.7.3 熱偶真空計
2.7.4 熱陰極電離真空計
2.7.5 冷陰極磁控放電真空計（潘寧真空計）
2.7.6 分壓力真空計
第3章 常用的檢漏方法
3.1 靜態(tài)升壓法
3.2 靜態(tài)降壓法
3.3 氣泡檢漏法
3.3.1 氣泡檢漏法的原理
3.3.2 產(chǎn)生氣泡的條件
3.3.3 產(chǎn)生壓差的方法
3.3.4 打氣試漏法及注意事項
3.4 高頻火花檢漏法
3.4.1 火花法
3.4.2 放電法
3.5 鹵素檢漏法
3.5.1 鹵素檢漏法原理及儀器結構
3.5.2 鹵素檢漏法注意事項
3.6 質譜儀檢漏法
3.7 其他檢漏方法
3.7.1 真空規(guī)法
3.7.2 離子泵檢漏法
3.7.3 聲波檢漏法
3.7.4 氨檢漏法
3.7.5 放射性同位素法
3.7.6 著色滲透法
3.7.7 熒光滲透法
3.7.8 正壓漏率計算法
第4章 標準漏孔及其校準
4.1 真空標準漏孔
4.1.1 概述
4.1.2 真空標準漏孔的種類
4.1.3 真空標準漏孔的比較
4.2 正壓標準漏孔
4.3 標準漏孔的校準及使用注意事項
第5章 氦質譜檢漏儀法
5.1 氦質譜檢漏儀工作原理
5.2 儀器結構
5.2.1 質譜室
5.2.2 真空系統(tǒng)
5.2.3 電氣部分
5.2.4 普通型氦質譜檢漏儀（ZJS-23B）與逆擴散型氦質譜檢漏儀（ZQJ-230D）的比較
5.3 示漏氣體選擇
5.4 最小可檢漏率與校準
5.4.1 檢漏儀的最小可檢漏率
5.4.2 有效最小可檢漏率
5.4.3 檢漏儀的最小可檢漏率校準方法
5.4.4 有效最小可檢漏率的校準方法
5.4.5 注意事項
5.5 反應時間與清除時間及其校準
5.6 氦質譜檢漏儀的選擇
5.7 氦質譜檢漏技術
5.7.1 氦質譜檢漏方法
5.7.2 實際漏孔漏率
5.7.3 大容器檢漏
第6章 四極質譜計檢漏法
6.1 四極質譜計的結構
6.2 四極質譜計的工作原理
6.3 四極質譜計的工作模式
6.3.1 模擬峰質量掃描
6.3.2 棒峰質量掃描
6.4 四極質譜計的性能指標
6.4.1 質量范圍
6.4.2 分辨本領R
6.4.3 靈敏度S
6.4.4 最小可檢分壓力pmin
6.4.5 最高工作壓力pmax
6.4.6 最小可檢濃度
6.5 四極質譜計檢漏方法
6.5.1 殘氣分析法
6.5.2 單一示漏氣體檢漏法
6.5.3 多種示漏氣體檢漏法
6.6 應用舉例
6.7 質譜圖的識別
第7章 檢漏實踐和檢漏安全
7.1 檢漏實踐
7.1.1 檢漏實踐的原則——在真空工作的各個階段都要考慮檢漏工作
7.1.2 檢漏工作人員與檢漏試驗室（車間）
7.1.3 如何進行檢漏
7.2 檢漏安全
7.2.1 安全事項
7.2.2 安全防護
7.2.3 壓力防護
7.2.4 安全裝置
7.2.5 示漏氣體的危害與安全性
7.2.6 監(jiān)測設備的類型
7.2.7 安全規(guī)則
參考文獻
編后語