1 基本建模過程
1.1 模型向導
1.2 選項與設置
1.3 繪制幾何圖
1.4 設置物理性質
1.5 耦合應用模式
1.6 劃分網格
1.7 求解模型
1.8 后處理分析結果
2 MEMS受激模型
2.1 懸臂梁模型
2.1.1 概述
2.1.2 模型定義
2.1.3 求解結果
2.1.4 應用COMSOL Multiphysics建模
2.1.5 用戶圖形界面建模
2.2 梳狀驅動器模型（Comb Drive）
2.2.1 概述
2.2.2 模型定義
2.2.3 應用COMSOL Multiphysics建模
2.2.4 結果與分析
2.2.5 用戶圖形界面建模
2.3 電容性3D梳狀驅動器模型（3D Comb Drive）
2.3.1 概述
2.3.2 有關理論
2.3.3 結果與分析
2.3.4 應用COMSOL Multiphysics建模
2.3.5 用戶圖形界面建模
2.4 微電阻梁模型（Microresistor Beam）
2.4.1 概述
2.4.2 結果與分析
2.4.3 應用COMSOL Multiphysics建模
2.4.4 用戶圖形界面建模
2.5 預應力微型鏡模型
2.5.1 概述
2.5.2 模型定義
2.5.3 結果與分析
2.5.4 用戶圖形界面建模
2.6 薄膜共振的殘余應力模型
2.6.1 概述
2.6.2 模型定義
2.6.3 結果與分析
2.6.4 用戶圖形界面建模（2D，Straight Cantilevers）
2.6.5 用戶圖形界面建模（2D，F(xiàn)olded Cantilevers）
2.6.6 用戶圖形界面建模（3D，Straight Cantilevers）
2.6.7 用戶圖形界面建模（3D，F(xiàn)olded Cantilevers）
2.7 熱-機作用的微型閥模型
2.7.1 模型定義
2.7.2 應用COMSOL Multiphsics建模
2.7.3 結果與分析
2.7.4 用戶圖形界面建模（2D）
2.7.5 用戶圖形界面建模（3D）
3 MEMS傳感器模型
3.1 擠壓氣膜阻尼式加速度傳感器模型
3.1.1 概述
3.1.2 模型定義
3.1.3 結果與分析
3.1.4 用戶圖形界面建模（2D）
3.1.5 用戶圖形界面建模（3D）
3.2 電容性壓力傳感器模型
3.2.1 概述
3.2.2 模型定義
3.2.3 結果與分析
3.2.4 應用COMSOL Multiphysics建模
3.2.5 用戶圖形界面建模
4 微通道流動模型
4.1 交流動電學的增強表面反應模型
4.1.1 概述
4.1.2 模型定義
4.1.3 結果與分析
4.1.4 應用COMSOL Multiphysics建模
4.1.5 用戶圖形界面建模
4.2 動電閥中的傳輸模型
4.2.1 概述
4.2.2 模型定義
4.2.3 結果與分析
4.2.4 應用COMSOL Multiphysics建模
4.2.5 用戶圖形界面建模
4.3 ALE流動-結構相互作用模型
4.3.1 概述
4.3.2 模型定義
4.3.3 結果與分析
4.3.4 應用COMSOL Multiphysics建模
4.3.5 用戶圖形界面建模
4.4 薄片層流混合模型
4.4.1 概述
4.4.2 模型定義
4.4.3 結果與分析
4.4.4 應用COMSOL Multiphysics建模
4.4.5 用戶圖形界面建模
4.5 微電滲混合器模型
4.5.1 模型定義
4.5.2 結果與分析
4.5.3 應用COMSOL Multiphysics建模
4.5.4 用戶圖形界面建模
4.6 星形微通道芯片模型
4.6.1 模型定義
4.6.2 結果與分析
4.6.3 應用COMSOL Multiphysics建模
4.6.4 用戶圖形界面建模
5 壓電裝置模型
5.1 壓電陶瓷管模型
5.1.1 模型定義
5.1.2 結果與分析
5.1.3 應用COMSOL Multiphysics建模
5.1.4 用戶圖形界面建模
5.2 壓電式剪切驅動梁模型
5.2.1 模型定義
5.2.2 結果
5.2.3 應用COMSOL Multipbysics建模
5.2.4 用戶圖形界面建模
5.3 復合式壓電換能器模型
5.3.1 概述
5.3.2 結果
5.3.3 用戶圖形界面建模
參考文獻
鄂公網安備 42010302001612號 