微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用

　　本書(shū)旨在綜合介紹近年來(lái)微納米加工技術(shù)的進(jìn)展。全書(shū)共分為8章以微納米加工的關(guān)鍵技術(shù)為主線，即微納米光刻技術(shù)，其中包括光學(xué)曝光加工，電子束曝光加工，聚焦離子束加工，微納米圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，微納米圖形復(fù)制技術(shù)，重點(diǎn)介紹這寫(xiě)技術(shù)的特點(diǎn)，典型設(shè)備，關(guān)鍵工藝技術(shù)，與其他類似技術(shù)的比較，近年來(lái)的新發(fā)展，未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)。在介紹中以國(guó)際上近年來(lái)發(fā)表的文獻(xiàn)為基礎(chǔ)，包括作者近十余年來(lái)在這一領(lǐng)域的研究成果和經(jīng)驗(yàn)。每一種技術(shù)的介紹著重解釋清楚基本概念。不偏重于深?yuàn)W的理論，而側(cè)重于闡述實(shí)際應(yīng)用中所遇到的問(wèn)題和解決辦法。本書(shū)的最后一章為微納米加工技術(shù)的應(yīng)用，包括了當(dāng)今最熱門(mén)的高科技領(lǐng)域，如微納米電子學(xué)，高密度磁存儲(chǔ)，微機(jī)電系統(tǒng)，生物芯片與納米技術(shù)。介紹微納米加工技術(shù)在這些領(lǐng)域的所起的關(guān)鍵作用。全書(shū)各章都附有詳細(xì)的參考文獻(xiàn)。本書(shū)最后附有中英文名詞對(duì)照與索引。為讀者進(jìn)一步參閱國(guó)外文獻(xiàn)資料提供了方便。本書(shū)的讀者對(duì)象為大專院校高年級(jí)研究生，大學(xué)教師，從事微電子工藝，微系統(tǒng)技術(shù)與納米技術(shù)的科學(xué)工作者及工程技術(shù)人員，從事微電子工藝技術(shù)，超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的從業(yè)人員。

暫缺《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用》作者簡(jiǎn)介