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內(nèi)容簡介

　　微機械被譽為21世紀最具代表性的技術之一?！段C械與微細加工技術》共分8章，結合作者近年來的研究工作，系統(tǒng)地介紹了微機械學科的起源、發(fā)展過程及當前國內(nèi)外該學科的研究內(nèi)容與成果，內(nèi)容包括微機械理論基礎、微機械材料與微結構、微細加工技術、準分子激光微細加工技術、微檢測技術、微傳感器、微致動器及其它微器件、典型微型電子機械系統(tǒng)與微機器人等等。《微機械與微細加工技術》可供從事微機械研究的科技人員使用，也可供相關學科的師生參考。

作者簡介

　　苑偉政，男，1961年生，博士，教授，博士研究生導師?，F(xiàn)任西北工業(yè)大學現(xiàn)代制造工程研究所所長兼微機械與微細加工技術研究室主任，機械制造學科跨世紀學科帶頭人。主要從事微機械與微細加工技術、CAM與CIMS、難加工材料切削加工與精密加工技術等方面的研究工作。近年來主持承擔了包括國家自然科學基金在內(nèi)的24項研究課題，獲省部級科技進步獎5項，發(fā)表研究論文40余篇，其中10余篇被工程索引（EI）收入。馬炳和，男，1972年生，河北省辛集市人，博士，西北工業(yè)大學講師。主要研究方向為微電子機械系統(tǒng)（MEMS）、微細加工技術、精密測試技術等。

圖書目錄

緒論
第一章微機械理論基礎
1.1 微機械學
1.2 微動力學
1.3 微電子學
1.4 微光學
1.5 微流體力學
1.6 微熱力學
1.7 微摩擦學
1.8 納米生物學
1.9 分子裝配技術
第二章微機械材料與微結構
2.1 引言
2.2 微機械材料
2.2.1 硅材料
2.2.2 形狀記憶材料
2.2.3 壓電陶瓷／電致伸縮材料
2.2.4 超磁致伸縮材料
2.2.5 電流變體
2.2.6 磁流變體
2.2.7 有機聚合物材料
2.3 微結構與微型智能結構
2.3.1 主動控制結構類
2.3.2 被動阻尼結構類
第三章微細加工技術
3.1 引言
3.2 硅微細加工技術
3.2.1 薄膜制備技術
3.2.2 微機械器件薄膜制備技術
3.3 光刻技術
3.3.1 光刻掩模制作工藝
3.3.2 曝光技術
3.3.3 刻蝕技術
3.3.4 表面薄膜的化學刻蝕加工
3.4 犧牲層技術
3.5 外延技術
3.6 高能束刻蝕技術
3.6.1 離子束刻蝕
3.6.2 等離子體刻蝕
3.6.3 激光刻蝕
3.7 LIGA技術
3.8 微細立體光刻技術
3.9 精密放電加工技術與超精密機械加工技術
3.10 微機械裝配與集成
3.10.1 堆裝技術
3.10.2 封裝技術
3.10.3 集成制造技術
第四章準分子激光微細加工技術
第五章微檢測技術
第六章微傳感器
第七章微致動器及其它微器件
第八章典型微型電子機械系統(tǒng)與微機器人