陶瓷－金屬材料實(shí)用封接技術(shù)

目錄第1章陶瓷金屬封接工藝的分類、基本內(nèi)容和主要方法111陶瓷金屬封接工藝的分類112陶瓷金屬封接工藝的基本內(nèi)容2121液相工藝2122固相工藝4123氣相工藝613陶瓷金屬封接工藝的主要方法7第2章真空電子器件用陶瓷金屬封接的主要材料921概述922陶瓷材料11221Al2O3瓷12222BeO瓷17223BN瓷26224AlN瓷30225高溫瓷釉38226精細(xì)陶瓷的超精密加工4923金屬材料54231W、Mo金屬54232可伐等定膨脹合金56233特種W、Mo合金58234無(wú)氧銅和彌散強(qiáng)化無(wú)氧銅61235焊料65第3章陶瓷金屬化及其封接工藝7031引言70311金屬化粉及其配方70312金屬化配膏的涂層71313金屬化燒結(jié)工藝71314等靜壓陶瓷金屬化713295% Al2O3瓷晶粒度對(duì)陶瓷強(qiáng)度和封接強(qiáng)度的影響72321概述72322陶瓷樣品的制備74323晶粒度的測(cè)定74324Mo粉顆粒度FMo0175325金屬化配方和規(guī)范75326不同晶粒度的陶瓷強(qiáng)度和對(duì)封接強(qiáng)度的影響75327討論78328結(jié)論8233表面加工對(duì)陶瓷強(qiáng)度和封接強(qiáng)度的影響83331概述83332實(shí)驗(yàn)材料和方法84333實(shí)驗(yàn)結(jié)果85334問(wèn)題討論90335結(jié)論943495% Al2O3瓷中溫金屬化配方的經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)95341概述95342金屬化配方中活化劑的定性選擇95343活化劑質(zhì)量分?jǐn)?shù)的定量原則96344問(wèn)題討論98345具體計(jì)算99346結(jié)論10035常用活化MoMn法金屬化時(shí)Mo的化學(xué)熱力學(xué)計(jì)算100351概述100352化學(xué)熱力學(xué)計(jì)算101353實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論104354結(jié)論10636活化MoMn法陶瓷金屬封接中玻璃相遷移方向的研究106361概述106362實(shí)驗(yàn)方法106363實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論107364結(jié)語(yǔ)11037活化MoMn法陶瓷金屬化時(shí)Mo表面的化學(xué)態(tài)——AES和XPS在封接機(jī)理上的應(yīng)用111371引言111372實(shí)驗(yàn)程序112373表面分析和結(jié)果114374結(jié)論11838陶瓷低溫金屬化機(jī)理的研究118381引言118382實(shí)驗(yàn)方法和程序120383實(shí)驗(yàn)結(jié)果120384問(wèn)題討論123385結(jié)論12739電力電子器件用陶瓷金屬管殼127391引言127392管殼生產(chǎn)的工藝流程128393管殼用陶瓷零件128394管殼用金屬零件129395陶瓷金屬封接結(jié)構(gòu)130396國(guó)內(nèi)和國(guó)外管殼生產(chǎn)的不同點(diǎn)和差距132310陶瓷金屬化厚度及其均勻性1333101引言1333102活化 MoMn法金屬化層厚度和過(guò)渡層的關(guān)系1343103金屬化層厚度和組分的均勻性1343104手工筆涂法和絲網(wǎng)套印法的比較1353105結(jié)論136311活化MoMn法金屬化機(jī)理——MnO·Al2O3物相的鑒定1373111引言1373112實(shí)驗(yàn)程序和方法1383113結(jié)果和討論1383114結(jié)論141312封接強(qiáng)度和金屬化強(qiáng)度1413121引言1413122實(shí)驗(yàn)程序1423123實(shí)驗(yàn)結(jié)果1423124討論1433125結(jié)論145313陶瓷金屬封接生產(chǎn)技術(shù)與氣體介質(zhì)1453131應(yīng)用1453132討論1493133結(jié)論149314不銹鋼陶瓷封接技術(shù)1503141常用封接不銹鋼的分類和特點(diǎn)1513142典型的幾種不銹鋼陶瓷封接結(jié)構(gòu)1523143結(jié)論155第4章活性法陶瓷金屬封接15641引言1564295% Al2O3瓷TiAgCu活性金屬法化學(xué)反應(yīng)封接機(jī)理的探討157421化學(xué)反應(yīng)的熱力學(xué)計(jì)算158422熱力學(xué)計(jì)算修正項(xiàng)的引入158423真空度對(duì)化學(xué)反應(yīng)的影響159424封接溫度對(duì)化學(xué)反應(yīng)的影響159425TiAgCu活性法封接機(jī)理模式的設(shè)想16043提高活性法封接強(qiáng)度和可靠性的一種新途徑161431概述161432實(shí)驗(yàn)方法和結(jié)果161433問(wèn)題討論163434結(jié)論16544TiAgCu活性合金焊料的新進(jìn)展165441概述165442WESGO產(chǎn)品166443北京有色金屬研究總院產(chǎn)品167444結(jié)論16845ZrO2陶瓷金屬活性法封接技術(shù)的研究168451概述168452實(shí)驗(yàn)程序和方法168453實(shí)驗(yàn)結(jié)果和討論169454結(jié)論17146活性法氮化硼陶瓷和金屬的封接技術(shù)172461概述172462實(shí)驗(yàn)方法和結(jié)果17347活性封接的二次開發(fā)17448氮化鋁陶瓷的浸潤(rùn)性和封接技術(shù)175481引言175482AlN陶瓷的浸潤(rùn)特性176483AlN陶瓷的金屬化工藝176484AlN陶瓷的氣密封接180485結(jié)束語(yǔ)18049AlN陶瓷的氣密接合181491引言181492實(shí)驗(yàn)程序和方法181493試驗(yàn)結(jié)果和討論182494結(jié)論184第5章玻璃焊料封接18551引言185511封接溫度185512線膨脹系數(shù)186513浸潤(rùn)特性18652易熔玻璃焊料187521玻璃態(tài)易熔玻璃焊料187522混合型易熔玻璃焊料18853高壓鈉燈用玻璃焊料190531概述190532常用玻璃焊料系統(tǒng)組成和性能190533玻璃焊料的制備工藝192534關(guān)于玻璃焊料的析晶19254微波管用玻璃焊料193第6章氣相沉積金屬化工藝19661引言19662蒸鍍金屬化197621蒸鍍鈦197622蒸鍍鉬19863濺射金屬化19864離子鍍金屬化20065三種常用PVD方法的特點(diǎn)比較201 第7章陶瓷金屬封接結(jié)構(gòu)20271封接結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)原則202711線膨脹系數(shù)匹配原則202712低彈性模量、低屈服極限原則202713熱導(dǎo)率接近原則202714壓應(yīng)力原則202715減小應(yīng)力原則202716避免應(yīng)力集中原則202717過(guò)渡封接原則203718刀口封接原則203719撓性結(jié)構(gòu)原則2037110焊料優(yōu)選原則20372封接結(jié)構(gòu)的分類和主要尺寸參數(shù)203721結(jié)構(gòu)材料和焊料203722封接結(jié)構(gòu)分類20473常用封接結(jié)構(gòu)的典型實(shí)例207731合理和不合理封接結(jié)構(gòu)的對(duì)比（見圖74～圖712）207732針?lè)饨Y(jié)構(gòu)（見圖713～圖718）207733撓性結(jié)構(gòu)（見圖719～圖721）207734特殊結(jié)構(gòu)封接（見圖722～圖730）207735焊料的放置（見圖731和圖732）213第8章陶瓷金屬封接生產(chǎn)過(guò)程常見廢品及其克服方法21481金屬化層的缺陷214811金屬化層起泡214812金屬化層氧化21482金屬化過(guò)程中瓷件的缺陷215821金屬化后瓷件內(nèi)部出現(xiàn)灰斑、黃斑215822金屬化后瓷件表面發(fā)灰、發(fā)黑21583鍍鎳層的缺陷215831鍍鎳層燒結(jié)后起泡215832鍍鎳層燒結(jié)后，表面粗糙21684封口處產(chǎn)生“銀泡”和瓷件“光板”216841封口處產(chǎn)生“銀泡”216842封口處瓷件“光板”21685鈦銀銅活性法漏氣和瓷件表面污染216851封接件漏氣216852封接件瓷表面發(fā)黑和絕緣電阻下降21786瓷釉的缺陷及其克服方法217861瓷釉起泡217862瓷釉針孔217863形成橘釉218864金屬化過(guò)程中瓷釉變色218第9章陶瓷金屬化及其封接工藝21991引言21992封接強(qiáng)度的測(cè)量220921基本的封接強(qiáng)度測(cè)試方法220922實(shí)用的封接強(qiáng)度測(cè)試方法224923真空開關(guān)管管殼封接強(qiáng)度的測(cè)量22693氣體露點(diǎn)的測(cè)量227931露點(diǎn)法227932電解法230933溫度計(jì)法硫酸露點(diǎn)計(jì)232第10章國(guó)內(nèi)外常用金屬化配方234101我國(guó)常用金屬化配方234102歐、美、日等國(guó)常用金屬化配方234103俄羅斯常用金屬化配方236主要參考文獻(xiàn)238