現(xiàn)代精密儀器設(shè)計

一、現(xiàn)代精密儀器設(shè)計概論
1.1 概述
1.2 現(xiàn)代精密儀器的基本組成
1.3 現(xiàn)代精密儀器設(shè)計的指導(dǎo)思想、原則與程序
思考題
二、精密儀器總體設(shè)計
2.1 設(shè)計方法概述
2.2 設(shè)計任務(wù)分析
2.3 主要參數(shù)與技術(shù)指標(biāo)
2.4 總體方案的制定
思考題
三、精密儀器設(shè)計的精度理論
3.1 儀器精度理論中的若干基本概念
3.2 儀器誤差的來源與分析
3.3 儀器誤差的計算分析方法
3.4 儀器誤差的綜合
3.5 儀器精度設(shè)計與誤差分配
3.6 儀器的動態(tài)精度
思考題與習(xí)題
四、精神機械系統(tǒng)
4.1 基座與支承件
4.2 精密x-y工作臺
4.3 主軸系統(tǒng)
思考題與習(xí)題
五、微位移技術(shù)
5.1 概述
5.2 壓電、電致伸縮器件
5.3 電磁控制的微動工作臺
5.4 柔性鉸鏈
5.5 精密微動工作臺的設(shè)計及其特性分析
5.6 其他類型的微位移機構(gòu)
思考題與習(xí)題
六、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計
6.1 概述
6.2 光輻射源及特片
6.3 信噪比的計算方法
6.4 光學(xué)系統(tǒng)基本參數(shù)的確定
6.5 光電系統(tǒng)中參數(shù)的確定
6.6 總體設(shè)計舉例
思考題與習(xí)題
七、定位與測量系統(tǒng)
7.1 概述
7.2 光柵定位測量系統(tǒng)
7.3 激光干涉定位測量系統(tǒng)
7.4 其他編碼器
思考題與習(xí)題
八、瞄準(zhǔn)與對準(zhǔn)系統(tǒng)
8.1 接觸式瞄準(zhǔn)方法
8.2 非接觸式瞄準(zhǔn)方法
8.3 光電自動對準(zhǔn)系統(tǒng)
思考題與習(xí)題
九、自動調(diào)焦系統(tǒng)
十、精密機械伺服系統(tǒng)設(shè)計
十一、微型機電系統(tǒng)
參考文獻(xiàn)