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金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測(cè)試與工藝

金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測(cè)試與工藝

定　價(jià)：￥1.05

作　者： 吳鼎芬，顏本達(dá)編著
出版社： 上海交通大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽： 歐姆接觸
ISBN： 9787313004642 出版時(shí)間： 1989-01-01 包裝：
開本： 19cm 頁(yè)數(shù)： 216頁(yè) 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書較詳盡的敘述了集成電路中歐姆接觸的形成原理，測(cè)量方法和制造工藝、分析了歐姆接觸在形成和使用過(guò)程中發(fā)生的界面冶金反應(yīng)及其對(duì)接觸電阻的影響等。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《金屬-半導(dǎo)體界面歐姆接觸的原理、測(cè)試與工藝》作者簡(jiǎn)介

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