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集成電路掩膜技術(shù)

集成電路掩膜技術(shù)

定　價：￥3.50

作　者： 埃利奧特著（Elliott，D.J.）；宋柏泉等譯
出版社： 上海交通大學出版社
叢編項：
標　簽： 集成電路工藝
ISBN： 9787313009654 出版時間： 1989-01-01 包裝：
開本： 21cm 頁數(shù)： 240頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書闡述了制備集成電路掩膜的全過程，包括掩膜版玻璃基板制備、圖形設計和數(shù)據(jù)生產(chǎn)、涂敷、刻蝕成像、圖形測量、質(zhì)量控制、生產(chǎn)技術(shù)等。

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