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半導體材料生長技術

半導體材料生長技術

定　價：￥28.80

作　者： （美）唐（Tsang，W.T.）主編；江劍平等譯
出版社： 廣東科技出版社；清華大學出版社
叢編項： 當代科技重要著作·信息領域 半導體光電子技術叢書
標　簽： 半導體材料
ISBN： 9787535911353 出版時間： 1993-10-01 包裝： 精裝
開本： 20cm 頁數(shù)： 443頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本冊共6章，詳細說明各種Ⅲ-V族化合物半導體的外延生長技術和材料缺陷，討論了液相外延、分子束外延、常壓和低壓金屬有機化學汽相沉積，以及鹵化物和氯化物輸運汽相沉積等各項技術。

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