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內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書系統(tǒng)地介紹了硅微型慣性器件的理論及應(yīng)用問題。全書共7章，第1章介紹微型慣性器件的物理基礎(chǔ)；第2章至第4章為硅微型慣性器件的原理及誤差分析，第5章介紹硅微型慣性器件的制備工藝；第6章簡(jiǎn)介幾種微電容測(cè)量方法及硅微型慣性儀表的測(cè)控回路；第7章為硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用。本書系中國(guó)船舶工業(yè)總公司“九五”規(guī)劃教材，可作為高等學(xué)校測(cè)控技術(shù)與儀器及其相關(guān)專業(yè)的研究生，本科生的教學(xué)參考書，也可供從事傳感器、執(zhí)行器及慣性技術(shù)研究的工程技術(shù)人員閱讀。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《硅微型慣性器件理論及應(yīng)用》作者簡(jiǎn)介

圖書目錄

0　緒論
　0.1　微機(jī)系統(tǒng)與微型制造技術(shù)
　0.2　硅微型慣性器件及微慣性測(cè)量組合
1　微型慣性器件的物理基礎(chǔ)
　1.1　硅材料的物理性能
　1.2　微型慣性器件的動(dòng)力學(xué)基礎(chǔ)
　1.3　微機(jī)械元件的彈性理論基礎(chǔ)
2　硅微型加速度計(jì)
　2.1　概述
　2.2　原理結(jié)構(gòu)
　2.3　誤差分析及補(bǔ)償
　2.4　硅微加速度計(jì)的測(cè)試與定標(biāo)
3　硅微型框架驅(qū)動(dòng)或陀螺儀
　3.1　結(jié)構(gòu)組成和作用原理
　3.2　運(yùn)動(dòng)方程
　3.3　誤差分析
　3.4　結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
4　硅微型梳狀驅(qū)動(dòng)陀螺儀
　4.1　音叉式振動(dòng)陀螺儀
　4.2　靜電梳狀驅(qū)動(dòng)諧振器
　4.3　硅微型梳狀線振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀
　4.4　硅微型梳狀角振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀
　4.5　諧振頻率的調(diào)節(jié)
　4.6　硅微型振動(dòng)陀螺儀的計(jì)算機(jī)輔助分析
5　硅微型慣性器件的制備
　5.1　硅微機(jī)械加工技術(shù)簡(jiǎn)介
　5.2　硅微型慣性器件的制備
6　硅微型慣性儀表的測(cè)控技術(shù)
7　硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用
參考文獻(xiàn)